TOC脱除器在高纯水系统中通常与离子交换器相连接,用于降低水中的微量有机物,称为TOC(总有机碳)。高能量紫外线灯发射出波长在200nm以下的紫外线,185nm的紫外线波长可激发水的光分解作用,产生具有极高能量的氢氧根离子(OH)。这些氢氧根离子会攻击有机化合物,当TOC被完全氧化时就分解成二氧化碳和水。有些有机物被分解为易氧化的酸基,这些酸基可被抛光混床离子交换器很轻易地捕捉去除。